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半导体加工鳞片石墨需满足的要求

发布时间:2022-01-27

       一部分半导体生产制造过程中,会添加鳞片石墨提高性能,但需要考虑鳞片石墨纯度、粒度分布,耐高温性等等。下面伟杰石墨小编介绍半导体加工用鳞片石墨的要求:

半导体加工鳞片石墨需满足的要求(图1)

  1、纯度高

  对鳞片石墨纯度要求很高,如果杂质含量多,会污染半导体材料。因此除对所应用鳞片石墨的纯度严控外,还需经过高溫石墨化处理,以降低灰分。

  2、粒度分布高

  用以煅烧的磨具规定生产加工精密度很高,鳞片石墨颗粒物度要细,颗粒物度细的石墨非常容易超过生产加工精密度,且高溫抗压强度高,耗损小。

  3、耐热

  半导体工业生产常用石墨器件大多要反复加热和冷却,所以鳞片石墨在高溫条件下,应具备优良的尺寸稳定性和耐热冲击性能,以提升石墨器件的使用寿命。

      伟杰石墨拥有二十多年的生产历史,有一定的基础和经验,经有关部门检验,全部技术指标均优于同类产品标准,品质优良,完全可代替进口鳞片石墨,欢迎感兴趣的客户咨询,考察。


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