由于鳞片石墨具有极好的耐高温性与化学不活泼性,所以在高温炉中制取高纯半导体材料时使用高纯石墨特别有利,如在生产高纯铸时,在还原炉中使用石墨舟。高纯鳞片石墨与普通石墨的生产工艺大体相同,今天伟杰石墨小编就为大家讲讲高纯鳞片石墨加工半导体材料的特点:
1、必须选择灰分含量很低的原料,如用石油焦为原料时,石油焦的灰分含量应不大于0.15%。
2、可以用挤压成型,也可以用模压成型,一般加工成各种异形器件的细颗粒结构高纯鳞片石墨用模压成型比较多,还可以用等静压工艺成型。
3、高纯鳞片石墨提高纯度的关键工序是石墨化,石墨化的温度要高于生产普通石墨电极的温度,并在石墨化过程中通入元素气体,降低杂质含量。
4、高纯鳞片石墨在进行机械加工时,表面会沾上一些杂质,视工作环境及加工工艺不同,沾污的程度也不同。为了去掉表面的沾污,可以在加工后置入石墨坩埚内,再次放入石墨化炉中提纯,可以降低杂质。
5、某些高纯鳞片石墨器件需要在表面涂上一层热解石墨,涂上热解石墨后可以提高抗氧化性能。
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